干涉仪进行位移测量的时候，存在很多误差源，大致可以分为三大类：仪器误差、环境误差、几何误差。其中几何误差又包括阿贝误差、余弦误差以及面型误差。其中阿贝误差和余弦误差在之前已经讨论过（点击相应链接进行了解），本文将介绍一下面型误差。如下图，运动台沿X、Y两个方向作二维运动，需要运动台的X和Y方向各粘接一个平面镜，作为X干涉仪和Y干涉仪的被测对象。平面镜在理想情况下是一个理想平面，但实际上由于加...
上海拍频光电科技有限公司通过深入研究，不断调整氦氖气体比例、气压、放电参数等参数，在塞曼频差方面取得突破，成功实现了6.5MHz的塞曼频差输出。基于此研究，上海拍频光电科技有限公司已开发了对应型号的塞曼双频激光器（对应型号SLH6570），搭配平面镜干涉仪，最大测量速度可达1000mm/s，若搭配角锥镜干涉仪，最大测量速度可达2000mm/s。
氦氖激光器是一种气体激光器，工作物质是氦气和氖气，其中氖原子产生产生激光，而氦原子只是把它吸收的能量共振转移给氖原子，起很好的媒介作用。图1是氦氖激光器通常的外观。图1 氦氖激光管第一台氦氖激光器与1961年面世，曾经广泛应用于以下行业：1）条形码扫描仪，比如早期的激光打印机，早期的激光光盘播放器等；2）广告/娱乐行业，比如全息摄影、小型激光表演；3）测量/计量行业，比如光学测量、干涉计量、...
由《双频激光干涉仪系统误差概述》的描述可知，双频激光干涉仪的系统误差大致由三部分组成：仪器误差、几何误差（或称之为安装误差）以及环境误差。这三种误差中，几何误差主要和光路调试和光程大小有关系，一般在几十纳米到几百纳米量级；环境误差与测试的环境参数（温度、压力、湿度等）和量程几乎成正比，通常可达几十纳米到几微米量级；而仪器误差则主要是指双频激光干涉仪自身的误差，一般可通过静态噪声来进行评价。上...
作为一种超精密的非接触式测量设备，双频激光干涉仪是现有测量方法中唯一能做到在纳米级测量精度的情况下保证大量程和高速度测量的方法。双频激光干涉仪采用外差干涉的方法进行测量，将信号转变为交流量，克服了普通单频激光干涉仪存在测量信号直流漂移的问题，因此在超精密测量领域有着重要作用。实际测量中，无论是双频激光干涉仪还是单频激光干涉仪，都是以激光波长作为基准的，而空气中的激光波长是随空气的折射率变化的...
双频激光干涉仪是一种外差干涉仪，其双频激光器输出的频差相当于载波。另一方面，被测对象相对于干涉仪发生运动会产生多普勒频移，它取决于被测对象的运动速度。为了实现测量，多普勒频移需要小于双频激光器的频差，反过来说，即双频激光器的频差决定了系统的最大测量速度。双频激光干涉仪的最大测量速度与双频激光器的频差需满足以下公式：其中，n为正整数，由光学分辨率决定，对于平面镜干涉仪n=4，对于角锥干涉仪n=...
阿贝误差：由于测量轴和运动轴不重合，而且被测对象在运动过程中产生倾斜，导致测量的位移和实际位移不相等，两者差值即为阿贝误差。如下图所示，测量轴和运动轴间距为H，被测对象的倾斜角为Ɵ，则阿贝误差A=H*tgƟ。阿贝误差示意图上海拍频光电科技有限公司开发的多轴双频激光干涉仪，可实时测量Ɵ角度，进而对阿贝误差进行实时动态补偿。更多详情，请联系我们！www.spoe.com.cn
在调节双频激光干涉仪光路时，请遵循以下基本流程：1) 将双频激光器放置在激光器可调底座（如有）上，通电点亮激光器，等待其预热；如预热结束，激光器尾部的“READY” LED指示灯会显示绿色。锁定激光器位置。2) 将所有导光元件初步固定在导光元件可调底座上，并安装在设计位置；沿着光路顺序，逐个调节导光元件。遇到光路分叉时，请先调节反射光路，然后调节投射光路。调节时请注意以下...
在利用干涉仪进行位移测量时，光轴与运动轴不重合所导致的误差称为余弦误差，也叫着未准直误差，如下图所示。假设运动方向与光轴夹角为β，则余弦误差可按下式计算：可从以下两个方面降低余弦误差：1）提高安装精度，即降低β角度，在实际光路装调的时候，可借助垂直度工装等工具降低β角，详情可联系我们；2）通过算法对余弦误差进行实时补偿，详情可联系我们。更多信息，请登录上海拍频光电科技有限公司官方网站www....
双频激光干涉仪的系统误差大致由三部分组成：仪器误差、几何误差（或称之为安装误差）以及环境误差，如表2所示。三种误差中，仪器误差可控制在2nm以下；几何误差可以通过测校进行动态补偿，残差可控制在几纳米以内；环境误差的影响最大，通常可达几十纳米到几微米量级，与测试的环境参数（温度、压力、湿度等）和量程几乎成正比，因此对大量程测量，需要对环境参数进行控制或测量。上海拍频光电科技有限公司提供多通道温...
双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上结合外差干涉技术发展起来的，其原理如图1所示。 图1 双频激光干涉仪原理图双频激光器发出两列具有不同频率的线偏振光，经过偏振分光器后，光束按照偏振方向被分离。设两束激光的波动方程为：平行于纸面的偏振光f1透过干涉仪后，被目标镜反射回干涉仪。当被测目标镜移动时，产生多普勒效应，返回光束的频率变为f1±△f。△f...
所谓外差（双频）其实就是将要接收的信号调制在一个已知频率信号上，在接收端再将该调制信号进行解调。由于高频率的激光信号相位变化难以精确测量，但利用外差干涉技术用低频拍频信号把高配信号的相位变化解调出来，将大大降低后续精确鉴相的难度。因此，外差技术最显著的特点就是信号以交流的方式进行传输和处理。因此，与单频干涉技术相比，外差干涉技术的突出优点是：1）由于被测对象的相位信息是加载在稳定的差频（通常...
1. 简介上海拍频光电科技有限公司开发的探针双频激光干涉仪采用光学外差干涉的原理，对被测物体的微小位移、形变、振动等物理量进行探针动态测量。无需像传统干涉仪一样需要在被测物体上安装光学反射镜，探针干涉仪可测量任意物体表面，实现真正意义上的非接触式测量。2. 功能性能功能：可根据客户需求，提供振动、形变、微小位移等物理量探针测量的系统解决方案，提供定制化产品。性能：1）测量分辨率：...
随着20世纪60年代初激光的出现，几何量计量技术的发展步入了崭新的时期。双频激光干涉仪正是利用激光具有频率稳定、单色性好等优点，在几何量计量领域发挥着越来越重要的作用。双频激光干涉仪具有精度高、应用范围广、环境适应能力强、实时动态测速高等一系列无可比拟的优势，成为几何量计量活动的生力军。相比于传统的单频激光干涉仪，现代双频激光干涉仪具有更好的抗环境干扰能力，摆脱了计量室的束缚，在越来越广阔的...
