一）光纤双频激光干涉仪系列简介上海拍频光电科技有限公司（以下简称上海拍频光电）开发的FDI光纤双频激光干涉仪系列产品，结合了光纤传输的便捷性和双频干涉技术的高精度等优点。按干涉仪工作方式分为光纤单轴干涉仪、光纤探针干涉仪和光纤差分干涉仪等几种。下面介绍光纤差分干涉仪的典型应用场景——用2个光纤差分干涉仪测量运动台相对于物镜在X、Y方向的位置变化。二）运动台与物镜的相对位置测量系统方案系统方案...

一）光纤双频激光干涉仪系列简介上海拍频光电科技有限公司（以下简称上海拍频光电）开发的FDI光纤双频激光干涉仪系列产品，结合了光纤传输的便捷性和双频干涉技术的高精度等优点。按干涉仪工作方式分为光纤单轴干涉仪、光纤探针干涉仪和光纤差分干涉仪等几种。下面介绍光纤单轴干涉仪的典型应用场景——用4个光纤单轴干涉仪测量运动台的X、Y和Rz等位置，并进行长条反射镜面型补偿。二）运动台位置测量系统方案众所周...

一）光纤双频激光干涉仪系列简介上海拍频光电科技有限公司（以下简称上海拍频光电）开发的FDI光纤双频激光干涉仪系列产品，结合了光纤传输的便捷性和双频干涉技术的高精度等优点。按干涉仪工作方式分为光纤单轴干涉仪、光纤探针干涉仪和光纤差分干涉仪等几种。下面介绍光纤单轴干涉仪的典型应用场景——二维运动台的测量和闭环反馈。二）二维运动台位置测量系统方案众所周知，二维运动台在运动过程中需要有位移传感器对其...

一）技术方案              上海拍频光电科技有限公司开发的非接触式测量系统由双频激光器、光纤、探针干涉仪、信号处理卡（图中未显示）等组成。该系统可测量任何表面的微小位移，通过数据处理得出振动、材料形变、微位移等信息。二）系统配置上海拍频光电科技有限公司开发的非接触式测量系统主要配置如下表：三）主要指标上海拍频光电科技有限公司开发的非接触式测量系统主要指标如下表：       上表...

一）系统方案        上海拍频光电科技有限公司开发的双频激光干涉测量系统，大量用于多轴运动台的闭环反馈，上图是典型的二维运动台闭环反馈系统，它由双频激光器、分光元件、平面镜干涉仪、被测反射镜、信号处理卡（图中未显示）等组成。该系统可测量运动台的位移X、位移Y以及转角Rz，用于运动台反馈控制。二）系统配置上图用于二维运动台闭环反馈的双频激光干涉测量系统，其主要配置如下表：三）主要指标上海...

一）系统方案      上海拍频光电科技有限公司开发的三自由度测量系统由双频激光器、三轴干涉仪、被测反射镜、信号处理卡（图中未显示）等组成。该系统可以测量位移X、角度Ry和角度Rz。二）系统配置三）主要指标       上表中，ΔT为测量过程中环境温度变化量，单位K；L为干涉仪到被测对象之间的距离，单位m；A为阿贝误差，B为余弦误差。案例3：三自由度测量——典型应用更多详情，请登录上海拍频光...

一）系统方案       上海拍频光电科技有限公司开发的角度测量系统由双频激光器、角度干涉仪（差分干涉仪）、被测反射镜、信号处理卡（图中未显示）等组成。 该系统可以测量运动的位移X、角度Ry或Rz（取决于角度干涉仪安装方式）。二）系统配置三）主要指标      上表中，ΔT为测量过程中环境温度变化量，单位K；L为干涉仪到被测对象之间的距离，单位m；A为阿贝误差，B为余弦误差。四）典型应用更多...

一）方案      上海拍频光电科技有限公司开发的双频激光干涉测量系统由双频激光器、线性干涉仪、被测反射镜、信号处理卡（图中未显示）等组成。该系统可测量被测对象沿X的位移。二）系统配置三）主要指标       上表中，ΔT为测量过程中环境温度变化量，单位K；L为干涉仪到被测对象之间的距离，单位m；A为阿贝误差，B为余弦误差。更多信息，请登录上海拍频光电科技有限公司官方网站www.spoe.c...