案例1：线性位移测量

发表时间：2022-02-23 10:20作者：上海拍频光电科技有限公司

一）方案

上海拍频光电科技有限公司开发的双频激光干涉测量系统由双频激光器、线性干涉仪、被测反射镜、信号处理卡（图中未显示）等组成。该系统可测量被测对象沿X的位移。

二）系统配置

三）主要指标

上表中，ΔT为测量过程中环境温度变化量，单位K；L为干涉仪到被测对象之

间的距离，单位m；A为阿贝误差，B为余弦误差。

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