案例4：运动台闭环反馈

一）系统方案

        上海拍频光电科技有限公司开发的双频激光干涉测量系统，大量用于多轴运动台的闭环反馈，上图是典型的二维运动台闭环反馈系统，它由双频激光器、分光元件、平面镜干涉仪、被测反射镜、信号处理卡（图中未显示）等组成。

该系统可测量运动台的位移X、位移Y以及转角Rz，用于运动台反馈控制。

二）系统配置

上图用于二维运动台闭环反馈的双频激光干涉测量系统，其主要配置如下表：

三）主要指标

上海拍频光电科技有限公司针对运动台闭环反馈控制的应用而开发的双频激光干涉仪，主要技术指标如下表（特殊需求可定制）：

       上表中，ΔT为测量过程中环境温度变化量，单位K；L为干涉仪到被测对象之间的距

离，单位m；A为阿贝误差，B为余弦误差。D为Y向两个干涉仪的间距，单位m。

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