关于拍频光电 提供具有竞争力的国产双频激光干涉测量产品
上海拍频光电科技有限公司专注于双频激光干涉测量技术研究及其国产化产品开发。服务于以光刻机为代表的半导体装备、超精密运动控制、长度计量、精密机床校准、振动、形变、角度、速度、加速度测试等领域。
产品中心
  • 传统双频激光干涉仪
  • 光纤双频激光干涉仪
  • 环境补偿模块
  • 二维PSD传感器
  • 真空玻璃穿腔法兰
  • 功率稳定型氮氖激光器
技术实力
提供具有竞争力的国产双频激光干涉测量产品
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年研发投入额
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