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应用案例
提供具有竞争力的国产双频激光干涉测量产品

案例1:线性位移测量

案例2:角度测量

案例3:三自由度测量

案例4:运动台闭环反馈

案例5:非接触式测量

案例6:用2个光纤单轴干涉仪测量运动台X和Y

案例7:用4个光纤单轴干涉仪测量运动台X、Y和Rz

案例8:用光纤差分干涉仪测量运动台与物镜的相对位置

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专注国产双频激光干涉测量产品
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