案例3：三自由度测量

一）系统方案

     上海拍频光电科技有限公司开发的三自由度测量系统由双频激光器、三轴干涉仪、被测反射镜、信号处理卡（图中未显示）等组成。该系统可以测量位移X、角度Ry和角度Rz。

二）系统配置

三）主要指标

      上表中，ΔT为测量过程中环境温度变化量，单位K；L为干涉仪到被测对象之间的距

离，单位m；A为阿贝误差，B为余弦误差。

案例3：三自由度测量——典型应用

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