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光纤探针干涉仪
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光纤探针干涉仪，属于光纤双频干涉仪的一种具体形式，它是一种非接触式测量系统，可以不用在被测物体表面贴反射镜，实现对物体的形变、振动、热胀冷缩、形貌、微位移等参量的非接触式测量。
产品详情
性能：
1）测量分辨率：0.3nm
2）数据更新率：2kHz
3）被测对象：任意物体表面
4）工作距：常规40mm/75mm/100mm可选，其它工作距可定制
应用领域：
1）振动
2）微小位移
3）形变
指标项 | 光纤探针干涉仪 | 备注 |
光学分辨率 | 775nm | |
系统分辨率 | 0.76nm | 搭配 1024电子细分 |
非线性误差 | <±2nm | |
热漂移系数 | <40nm/℃ | |
工作距 | 15.5mm | 可定制 |
量程 | ±0.5mm | 取决于被测表面的反射率 |
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