光纤单轴差分干涉仪

光纤单轴差分干涉仪的被测对象为两个平面反射镜，主要用于测量两个反射镜的相对运动位移。
与光纤单轴平镜干涉仪相比，光纤单轴差分干涉仪可以测量两个物体的相对位置，并能抵消大部分环境误差、波长误差和热漂移误差，进而提高测量精度。
我司的光纤单轴差分干涉仪与雷尼绍的 RLD10 DI 差分干涉仪接口兼容。